為推動半導體設備自主化，透過主題式研發計畫「半導體設備整機驗證計畫」，聚焦於半導體先進製程、後段封測、次世代顯示器設備及高階載板等設備領域，提供補助資源協助國內業者自製設備導入並通過終端廠品質驗證，藉此降低設備業者開發風險及資金壓力，加速建立技術自主量能，強化我國半導體設備產業韌性。同時，藉由通過指標型終端廠之驗證達到擴散之效，提升設備產業競爭力，拓展國際市場商機。